康柏工業陶瓷有限公司

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產品中心Product Center

半導體氧化鋁陶瓷件類別:半導體陶瓷件

簡介:半導體制造設備部品(腔體部件、絕緣法蘭盤、蝕刻設備部件、晶圓夾盤);粉碎機部件(分級機、氣流式粉碎機、珠磨機);一般產業用部件(激光加工機噴嘴、轉軸、軸承);高精度用,精密用,耐熱用冶工具(定位治具、裝配夾具);耐磨耗部件(拉絲機導向輥、鋼絲通道、導軌);電絕緣部件(絕緣子、墊片、襯套)。

產品介紹

氧化鋁(Al2O3)是精密陶瓷中常用的材料。我司供應純度為99.5%和99.9%的產品。


氧化鋁(Al2O3)主要用途

半導體制造設備部品(腔體部件、絕緣法蘭盤、蝕刻設備部件、晶圓夾盤);粉碎機部件(分級機、氣流式粉碎機、珠磨機);一般產業用部件(激光加工機噴嘴、轉軸、軸承);高精度用,精密用,耐熱用冶工具(定位治具、裝配夾具);耐磨耗部件(拉絲機導向輥、鋼絲通道、導軌);電絕緣部件(絕緣子、墊片、襯套)。


特點
○ 氧化鋁是白色或乳白色的陶瓷,利用其優異的電絕緣性能,早期開始即應用在電子部品上,使用量較多,是精密陶瓷中成本很低的材質。

○ 我司供應純度為99.5%和99.9%的高純度產品。高純度類型氧化鋁的機械強度高、耐腐蝕性優異,可生產大型產品。

○ 此外,由于其具有優異的耐等離子特性,也可用于CVD設備或蝕刻設備的部件。


型號

特點

密度

楊氏彈性模量

彎曲強度

斷裂韌性

熱膨脹系數

熱傳導率

體積電阻



[g/cm3]

[GPa]

[MPa]

[MPa?m1/2]

[×10-6/K]

[W/m?K]

[Ω?cm]

氧化鋁99.5%

用途廣泛高剛性

3.9

370

440

3~4

6.3

33

>1014

氧化鋁99.9%

高純度高剛性

3.9

370

450

3~4

6.3

30

>1014


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