產品介紹
氧化鋁(Al2O3)是精密陶瓷中常用的材料。我司供應純度為99.5%和99.9%的產品。
半導體制造設備部品(腔體部件、絕緣法蘭盤、蝕刻設備部件、晶圓夾盤);粉碎機部件(分級機、氣流式粉碎機、珠磨機);一般產業用部件(激光加工機噴嘴、轉軸、軸承);高精度用,精密用,耐熱用冶工具(定位治具、裝配夾具);耐磨耗部件(拉絲機導向輥、鋼絲通道、導軌);電絕緣部件(絕緣子、墊片、襯套)。
○ 氧化鋁是白色或乳白色的陶瓷,利用其優異的電絕緣性能,早期開始即應用在電子部品上,使用量較多,是精密陶瓷中成本很低的材質。
○ 我司供應純度為99.5%和99.9%的高純度產品。高純度類型氧化鋁的機械強度高、耐腐蝕性優異,可生產大型產品。
○ 此外,由于其具有優異的耐等離子特性,也可用于CVD設備或蝕刻設備的部件。
型號 |
特點 |
密度 |
楊氏彈性模量 |
彎曲強度 |
斷裂韌性 |
熱膨脹系數 |
熱傳導率 |
體積電阻 |
|
|
[g/cm3] |
[GPa] |
[MPa] |
[MPa?m1/2] |
[×10-6/K] |
[W/m?K] |
[Ω?cm] |
氧化鋁99.5% |
用途廣泛高剛性 |
3.9 |
370 |
440 |
3~4 |
6.3 |
33 |
>1014 |
氧化鋁99.9% |
高純度高剛性 |
3.9 |
370 |
450 |
3~4 |
6.3 |
30 |
>1014 |